5月18日-5月19日，由华林科纳举办的2023泛半导体湿法交流会第五期：化学流体系统技术与应用交流会在江苏南通市成功召开。会议共邀请42家企业参会，参会人员96人。本期交流会安排了学术技术交流报告、流体展示及实操等多种形式的活动，交流高纯流体在湿法领域的技术与应用，并展示了超100种高纯流体产品。

　　华林科纳此次展厅参展产品包括PFA管（耐盐酸）、PFA入珠接头、PFA扩口接头、PFA焊接接头、PFA手动隔膜阀、PVDF过滤器，PFA磁制液位伸缩计、PFA温度探头、PFA加热丝、PTFE风囊泵、在线加热器等多种产品，并向参会人员展现实时洁净车间生产，获得了业内人士的认可。

　　风囊泵工作原理：压缩空气进入泵的气相工作腔后，压缩风囊变形移动，通过换向阀控制压缩空气依次进入两个气相工作腔工作，利用液相腔的交替吸液排液，实现对液体的输送。

　　（1）药液恒温控制：由风囊泵、循环溢流槽、阀门、过滤器、管件、热交换器，制冷机或加热器等组成温度控制系统。通过泵使药液循环并在热交换器内进行热交换用以实现药液的恒温控制。

　　（2）药液的循环过滤：由风囊泵、循环溢流槽、阀门、过滤器、管件等组成药液的循环过滤系统。实现药液的循环过滤，均匀流场。保证工艺槽药液温度和浓度的均匀性。

　　（3）废液回收和再利用：100℃以下强腐蚀性药液（如SPM）使用后废液如直接从工艺槽排至废液管道，由于温度高，将导致排液管道的损坏，引起安全事故，采用工艺槽内自然冷却的方法又耗时过长，影响生产效率。一般采用高温风囊泵将槽内药液输送至降温槽，在降温槽内降温后再排入排废管道，这种方法即节省了时间，又保证了生产的安全性，被业界所广泛采用。

　　华林科纳PFA材质PTFE膜折叠滤芯是专为解决强氧化性高腐蚀性流体而开发的全氟滤芯，该滤芯采用PTFE滤膜为过滤介质,导流层、支撑层、中心杆、外壳端盖、密封圈均为含氟材料，可用于半导体湿法应用中的SC1，SC2，49HF，HNO，EKC,NMP等液体过滤打造。

　　华林科纳折叠滤芯采用亲水改性的聚四氟乙烯(PTFE)滤膜折叠而成，使用时无需做预润湿处理即可直接应用于极性溶液，减少操作时间及维护成本。

　　滤芯设计优良，确保在使用时压降低的同时兼具有较好的颗粒去除效果。全氟的材料保证了滤芯具有极低的溶出物或者其他可能对工艺造成污染的成分，同时在使用过程中提供了非常良好的过滤效果。

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